钨沉积用的气体是六氟化➖钨，容易残留🇻🇬氟原子⚽🕡，会腐蚀芯片的介。
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钨沉积用的气体是六氟化➖钨，容易残留🇻🇬氟原子⚽🕡，会腐蚀芯片的介。
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